Vor mehr als 10 Jahren begann das Scio Gruppenmitglied Schiller mit der Entwicklung seiner ersten Reinraum-Lösung – konkret ging es um ein Hochregallager für den Reinraum einer Halbleiterfirma mit der ISO-Klasse 5. Mittlerweile hat sich Schiller mit seinen partikelreduzierten Lagerlösungen und Fördersystemen für Reinräume der Halbleiter- und Elektronikindustrie ein weiteres Standbein neben der klassischen Automatisierungstechnik geschaffen: Schiller liefert Lagersysteme und Transportsysteme für 200 mm und 300 mm Carrier sowie für kundenspezifische Ladungsträger und Produkte. Damit können komplette Fertigungsstrecken im Reinraumsegment automatisiert werden.
Allerdings bringt die Entwicklung für den Reinraum drei ganz besondere Herausforderungen mit sich:
1. Herausforderung: Reinheit.
Bei der Automatisierung für den Reinraum steht an erster Stelle die Vermeidung von Partikeln, die z.B. durch Abrieb von Bauteilen entstehen könnten. Entsprechende ISO-Klassen beschreiben die maximal erlaubte Anzahl an Partikeln in der Luft – in der Klasse 5 sind z.B. 3520 Partikel in der Größe von 0,5 Mikrometer je Kubikmeter Luft erlaubt. Verglichen damit ist frische Bergluft in 2000 m Höhe mit rund 30 Millionen Partikel geradezu schmutzig. Die Produkte von Schiller können sogar in Anlagen der ISO-Klasse 3 mit nur 35 Partikel je Kubikmeter Luft betrieben werden – dem reinsten Raum, wo sich noch ein Mensch aufhalten darf.
2. Herausforderung: Platz.
Die Flächen im Reinraum sind durch die erhöhten Anforderungen enorm teuer. Deshalb konzentriert sich Schiller bei der Entwicklung neuer Innovationen neben der Reinheit vor allem auch auf möglichst platzsparende Lösungen. Hinzu kommt, dass sich die Systeme kombinieren und nahtlos in bestehende Umgebungen integrieren lassen müssen.
3. Herausforderung: Eigener Reinraum für Entwicklung und Inbetriebnahme.
Die automatisierten Systeme müssen bereits in einem Reinraum gefertigt werden, damit sie später beispielsweise in einer Halbleiter-Fab zum Einsatz kommen können. Denn bereits kleinste Partikel in der Luft können beispielsweise zu Beschädigungen an den Wafern führen. Deshalb werden die Lager und Fördersysteme im hauseigenen Reinraum am Firmensitz in Osterhofen entwickelt und in Betrieb genommen. Denn alle Anlagen werden von den Kunden vor der Auslieferung auf Herz und Nieren getestet. Dabei werden neben der Funktionalität von Software und Anlage auch die Anzahl der erzeugten Partikel gemessen, die bei Betrieb der Anlage entstehen.
Scio Automation GmbH
