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Saubere Greifer für die Halbleiterfertigung

Handhabungskomponenten für den Reinraum: Erfolgsfaktor Sauberkeit
Saubere Greifer für die Halbleiterfertigung

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In der Halbleiterfertigung ist penible Sauberkeit unverzichtbar. Eine sorgfältige Planung und Auswahl von Handhabungskomponenten wie Greifern leisten dabei einen wichtigen Beitrag zur Sauberkeit in Reinräumen. Ein Blick in die Praxis der Zimmer Group.

Gerade in der Elektronikherstellung kommt es auf Reinräume an. Nicht immer müssen hierfür vollständig abgeschirmte Produktionsumgebungen geschaffen werden. Oft reichen schon technische Maßnahmen, um Werkstücke und Produkte vor ungewünschten Partikeln zu schützen. Eine wichtige Rolle spielen hierbei auch die Eigenschaften der verwendeten Handhabungskomponenten. Denn gerade bei der Handhabung von Teilen können Partikel freigesetzt werden, die die Sauberkeit des Reinraums beeinträchtigen.

Entscheidend ist deshalb, dass Greifer und andere Komponenten speziell für den Einsatz in Reinräumen konzipiert sind und die entsprechenden Anforderungen erfüllen. Auch die Materialauswahl spielt eine Rolle: Komponenten aus Edelstahl oder Kunststoff eignen sich besser als solche aus Aluminium oder Messing. Eine Orientierung für die Reinraumtauglichkeit von Automatisierungskomponenten gibt bspw. die TÜV-Zertifizierung nach DIN EN ISO 14644–1.

Kleinteilegreifer mit Zertifizierung

Als Handhabungsspezialist und Partner vieler Pharma- und Elektronikhersteller bietet die Zimmer Group mittlerweile über 500 Greifer und Klemmelemente mit geringer Partikelemission gemäß internationaler Norm DIN EN ISO 14644–1 für Reinraumklassen zwischen 2 und 6 an. Hierzu zählt auch der Kleinteilegreifer der Serie GEP2000.

Dieser Greifer ist mit seiner kompakten Bauweise vielseitig einsetzbar und eignet sich dank zertifizierter Reinraumklasse 2 und dem elektrischen Antrieb für die Handhabung von elektrischen Bauteilen, bspw. bei der Beladung von Wafern ins Magazin oder beim Pick&Place mit Chips. Dabei verfügt er standardmäßig über eine Notentriegelung und eine mechanische Selbsthemmung, sodass Werkstücke jederzeit sicher im Greifer gehalten werden – auch bei Stromausfall oder Nothalt.

IO-Link vereinfacht Anbindung

Zudem bietet die integrierte IO-Link-Anbindung eine vereinfachte Implementierung in die Kommunikation, flexible Positionierbarkeit und eine unkomplizierte Ansteuerung. Hinzu kommt eine automatische Teileerkennung, womit der GEP2000 Abweichungen wahrnimmt und fehlerhafte Teile sofort aussortieren werden können.

Da die abgedichteten Führungen mit einem lebensmittelechten H1-Fett geschmiert sind, ist er vielseitig – auch für Anwendungen in der Lebensmittelindustrie – geeignet. Zumal die obere Abdeckung wie auch die Halteschrauben aus Edelstahl bestehen, um sowohl den Korrosionsschutz als auch die Reinigungsfreundlichkeit zu optimieren. Die Greifer können zudem mit einem Protektor ausgestattet werden, der die Schutzklasse auf IP 54 erhöht.

Zum Einsatz kommt der kompakte Greifer unter anderem in der Elektronik-Handhabung bei der Montage extrem kleiner SMD-Bauteile auf Leiterplatten oder sensiblen Pick&Place-Anwendungen empfindlicher Bauteile. Aber auch bei der Wafer-Handhabung bei der Beladung in das Magazin zeigen sich die Vorteile des GEP2000.

Kundenspezifische Anpassung

Während der GEP2000 bereits serienmäßig mit einigen Features aufwarten kann, entwickelt die Zimmer Group aber auch Sonderlösungen für kundenspezifische Anwendungen. So entstand bspw. auf Basis des bewährten GEP2000 ein Spezialgreifer im Hygienic Design nach Vorgaben eines Kunden. Wasserstoffperoxyd-resistente Materialien und das Gehäuse aus Edelstahl, PEEK und PET ermöglichen eine einfache Reinigung für erhöhte Hygieneanforderungen. Zudem garantiert der reduzierte Partikelausstoß eine sichere Anwendung in Reinräumen.

Die Zimmer Group ist bei der Halbleiterfertigung nicht nur mit Reinraum-Greifern beteiligt. Mit einem breiten Spektrum an Produkten entlang der gesamten Wertschöpfungskette, von Wafer-Handling über -Testing und -Montage bis hin zur anschließenden Logistik, bietet der Automatisierungsspezialist End-of-Arm-Lösungen wie Greifer und Werkzeugwechsler, aber auch Klemmelemente, Zubehör und Industriestoßdämpfer.

Zimmer Group

www.zimmer-group.com/de

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