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In den Waferboxen der Halbleiterindustrie liegen die einzelnen, sehr wertvollen Wafer meist nur mit sehr geringem Abstand übereinander. Daher werden beim Handling Endeffektor-Geometrien benötigt, die teils nur wenige Millimeter dick sind. Entsprechend müssen auch die zur Detektion der Wafer eingesetzten Sensoren sehr flach sein, ohne an Zuverlässigkeit oder Detektionsvermögen einzubüßen. Als Alternative zu optischen Sensoren, die wegen der Substratoberflächen häufig instabil arbeiten, bietet Balluff scheibenförmige, sehr dünne kapazitive Sensoren an, die unabhängig von der Oberfläche des Materials sind.
Zugleich steigen die Anforderungen an die Kontaminationsfreiheit der eingesetzten Materialien – neben der Forderung, möglichst keine Partikel zu generieren, ist es inzwischen auch notwendig, Ausgasungen von z.B. Kohlenwasserstoffen aus Kunststoffen zu minimieren. Balluff begegnet dieser Herausforderung, indem für die speziellen Sensoren geeignete Werkstoffe wie rostfreier Edelstahl und Teflon (PTFE) zum Einsatz kommen.
Der Halbleiter-Automationsspezialist Fabmatics setzt Balluffs Sensoren seit vielen Jahren erfolgreich ein: Für einen namhaften deutschen Halbleiter-Maschinenbauer lieferte Fabmatics bereits zahlreiche Roboter-Handlingsysteme mit entsprechend dünnen Endeffektoren aus. Die Endeffektoren sind hier nur 4,5 mm dick, der Sensor selbst nimmt davon lediglich 2,5 mm ein.
Fabmatics hat sich für den Sensor von Balluff entschieden, da er mit seiner Kombination der verwendeten Werkstoffe und der äußerst dünnen Bauart einzigartig am Markt ist. Zudem punktete der Sensor mit seinen Auswertegeräten, die weit entfernt vom Sensor untergebracht werden können und eine Vielzahl verschiedener Typen an Ausgabesignalen (Analog und Digital) ermöglichen.
Balluff GmbH
