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Kuka Wafer Handling Solution ist eine mobile Roboterlösung, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. Die Reinraumapplikation besteht aus der FTS-Plattform KMR 200 CR, dem sensitiven Leichtbauroboter LBR iiwa und einem ausgeklügelten, patentierten Greifersystem. Die mobile KMR-Plattform verfügt über Mecanum-Räder, die das omnidirektionale Fahren in jede Richtung ermöglichen. Sensoren nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Die Sensitivität des LBR iiwa ermöglicht es, die sensiblen Wafer-Kassetten erschütterungsfrei zu handhaben. Der in der Software integrierte Flottenmanager steuert die Transportaufträge, um so die optimale automatisierte Halbleiterfertigung zu gewährleisten.
Kuka AG
