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Mobiler Kuka-Roboter transportiert Wafer mit Visionsensor-Hilfe

Mobiler Roboter für die Halbleiterfertigung
Mobiler Roboter transportiert Wafer mit Visionsensor-Hilfe

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Kukas mobiler Roboter Semi Mobility Solution transportiert in der Halbleiterproduktion hoch empfindliche Wafer von Station zu Station. Mit an Bord: Ein Visionsensor von Cognex.

Einzelne Schritte in der Halbleiterproduktion lassen sich mit Roboter bereits sehr gut automatisieren. Eine Ausnahme bildete bislang der Transport der Wafer von einer Station zur nächsten. Daher hat Kuka mit dem Semi Mobility Solution eine Lösung entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann: Dabei ist ein Leichtbauroboter LBR iiwa auf einem autonomen Fahrerlosen Transportfahrzeug (FTF) KMR 200 CR montiert. Das FTF kann auf engstem Raum manövrieren, für die präzise Handhabung sorgt ein ausgeklügeltes Greifersystem.

Mit Hilfe eines integrierten Visonsensor kann der LBR iiwa Roboter dabei seine Position exakt bestimmen und eine Feinkalibrierung vornehmen. Das versetzt den Roboter in die Lage, die Transportbox mit hoher Genauigkeit zu greifen und die sensiblen Wafer erschütterungsfrei in einer Ablage auf der FTF-Plattform abzusetzen. Am Ziel angekommen, legt der autonom navigierende Roboter die Transportboxen an der jeweiligen Bearbeitungsanlage ab.

Kompakt und kommunikativ

Der Visionsensor Cognex In-Sight 2000 übernimmt die Referenzierung und das millimetergenaue Positionieren des Greifers. Er verbindet nicht nur die Leistung von Bildverarbeitungssystems mit der Einfachheit eines Sensors, sondern bietet auch maximale Flexibilität bei der Montage auf kleinstem Raum. Und das ist hier eine gefragte Eigenschaft, weil der Visionsensor auf dem Roboterarm mitfährt.

Hinzu kommt die einfache Integration des In-Sight 2000 über Ethernet und PoE. Ralf Ziegler, Business Development Manager Electronics bei Kuka: „Vorteilhaft sind auch die umfassenden Kommunikationsmöglichkeiten, die der Sensor bietet, dessen eingebaute Intelligenz und die gute Programmierbarkeit.“ Ein weiterer Pluspunkt: Das integrierte LED-Ringlicht sorgt für eine gleichmäßige Beleuchtung über das gesamte Bild, unabhängig von der aktuellen Lichtsituation. Das ist gerade bei mobilen Anwendungen wichtig, da nicht überall die gleiche Beleuchtung herrscht.

Kuka hat die ersten Semi Mobility Solutions mit dem In-Sight 2000 bereits an Halbleiter-Hersteller ausgeliefert. Dabei handelt es sich übrigens nicht um die erste Zusammenarbeit von Kuka und Cognex. Auch bei den Kuka.Visiontech Lösungen kommen Sensor und Kameras von Cognex zum Einsatz.

Cognex Germany Inc.

www.cognex.com

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