Automatisierte Beladungseinheit für Siliziumwafer abgesichert

Dämpfer für heiße Öfen

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Um die Beladung von Öfen zur Herstellung von Siliziumwafern abzusichern, setzt Lisco Strukturdämpfer von ACE ein.

Um die Siliziumwafer in die Spezialöfen zu transportieren und dort zu positionieren, setzt der Linearachsen-Spezialist Spindel- wie auch Zahnriemenantriebe sowie einen Drehtisch ein. Der Zahnriemenantrieb ist für das Vor- und Zurückbewegen der Backblech-ähnlichen Zufuhr zu den Öfen zuständig und entwickelt eine maximale Zahnriemenkraft von 2.100 Nm. Die Wiederholgenauigkeit beträgt 0,05 mm. Der Spindelantrieb arbeitet beim Hoch- und Herunterfahren der Zufuhr sogar noch genauer. Seine Fehlertoleranz beträgt 0,03 mm.

Als weiteres Konstruktionselement ist der Drehtisch in der Mitte der Einheit wie eine schwebende Plattform angebracht und dient der zusätzlichen Positionsoptimierung. Dafür lässt er sich in beliebigen Drehungen steuern. Um den Drehtisch und die über ihm liegende Konstruktion aus mit Blech versteiften Aluminiumprofilen zu schützen, werden Strukturdämpfer des Typs Tubus TR-97 eingesetzt. Diese dienen als reine Sicherheitselemente für den Fall, dass Kugelgewindemuttern defekt sind und die Einheit darauf gegebenenfalls nach unten absacken kann.

Die aus Co-Polyester-Elastomer gefertigten Strukturdämpfer von ACE sind im Vergleich mit Industriestoßdämpfern eine gute Alternative, wenn es nicht auf ein punktgenaues Abstoppen von bewegten Massen ankommt. Da die Wafer-Beladungseinheit circa 600 kg wiegt, wählten die Lisco-Konstrukteure TR-HD-Dämpfer aus, die sich sowohl durch massive Bauform als auch hohe Kraft- und Energieaufnahmen bei geringem Dämpfungsweg auszeichnen.

Platzsparende und leichte Dämpfer

ACEs wartungsfreie Tubus-Dämpfer zeichnen sich – neben ihren flexiblen Dämpfungseigenschaften sowie ihrer Lebensdauer (bis zu eine Million Lastwechsel) – gegenüber anderen Feststoff-Dämpfungselementen auch durch ihre platzsparende Bauform und das geringe Eigengewicht aus. Egal, ob als Anschlagdämpfer in Robotersystemen, Hub-Begrenzer in Gabelstaplern, im Maschinen- und Anlagenbau, profitieren die Anwender zudem noch von Schallreduktionen.

ACE Stoßdämpfer GmbH

www.ace-ace.de


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